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CVD气相沉积炉
发布时间：2020-06-22浏览次数：1809
化学气相沉积炉应用领域:
化学气相沉积炉（沉积炭）可用于以碳氢气体（如C3H8等）为碳源的复合材料的化学气相沉积，如C/C复合材料、SiC复合材料等CVD、CVI处理。
化学气相沉积炉产品规格:
产品型号/规格W×H×L(mm) | 600*600*1000 | 800*800*1200 | 1000*1000*1500 | 1200*1200*2500 | 1500*1500*3000 | 2500*2000*3600 |
装载重量(KG) | 350 | 800 | 1500 | 2500 | 5000 | 10000 |
**温度(℃) | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
温度均匀性(℃) | ±7.5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 | ±15 |
加热功率(kw) | 250 | 360 | 480 | 600 | 900 | 1200 |
极限真空度(Pa) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
压升率(Pa/h) | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
以上化学气相沉积炉参数可以根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。 | ||||||
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